中国科学院论文格式模板

1、题目：应简洁、明确、有概括性，字数不宜超过20个字（不同院校可能要求不同）。 2、摘要：要有高度的概括力，语言精练、明确，中文摘要约100—200字（不同院校可能要求不同）； 3、关键词：从论文标题或正文中挑选3～5个（不同院校可能要求不同）最能表达主要内容的词作为关键词。 4、目录：写出目录，标明页码。 5、正文：专科毕业论文正文字数一般应在3000字以上（不同院校可能要求不同）。 毕业论文正文：包括前言、本论、结论三个部分。 前言（引言）是论文的开头部分，主要说明论文写作的目的、现实意义、对所研究问题的认识，并提出论文的中心论点等。前言要写得简明扼要，篇幅不要太长。 本论是毕业论文的主体，包括研究内容与方法、实验材料、实验结果与分析（讨论）等。在本部分要运用各方面的研究方法和实验结果，分析问题，论证观点，尽量反映出自己的科研能力和学术水平。 结论是毕业论文的收尾部分，是围绕本论所作的结束语。其基本的要点就是总结全文，加深题意。 6、谢辞：简述自己通过做毕业论文的体会，并应对指导教师和协助完成论文的有关人员表示谢意。 7、参考文献：在毕业论文末尾要列出在论文中参考过的专著、论文及其他资料，所列参考文献应按文中参考或引证的先后顺序排列。 8、注释：在论文写作过程中，有些问题需要在正文之外加以阐述和说明。 9、附录：对于一些不宜放在正文中，但有参考价值的内容，可编入附录中。　　本科毕业论文（设计）版式　　1 软件排版 一般用微软Word软件排式（也可采用金山等其他排版软件，只要达到同样效果即可），一般用A4 纸（297×210）纵向排式，文字从左至右通栏横排、打印。 2 页面设置 在页面设置中，调整页边距上、 下、左、右的值。（不同院校要求不同，例如，四川大学要求：上5cm，下5cm，左5cm，右2 cm；渭南师范学院要求：上5cm，下2cm，左3cm，右3 cm；佳木斯大学要求：上5cm，下2cm，左2cm，右2cm） 调整装订线、页眉边距、页脚边距的值。（有些院校对此有要求，有些院校则对此无要求。例如四川大学要求：装订线0，页眉边距为5cm，页脚边距为5cm；佳木斯大学要求：装订线侧(左侧)增加5cm）。 3 行间距 行间距一般固定值。（不同院校要求不同，例如四川大学要求20磅。有些院校对于摘要部分与正文部分的行间距要求也是不同的，要格外注意。一般来说，摘要和参考文献部分的行距可能会比正文小些。）　　本科毕业论文（设计）文字排式　　（包括中英文标题、正文文字、引文、注文、中英文摘要、中英文关键词） 1论文题目、专业、学生和指导教师、摘要、主题词等排式 1论文题目排式 按照相关单位要求，用小2～3号字，字体选用标宋（或黑体），居中排。论文题目的文字字数较少或较多时，按“3标题长度与转行”规定处理。 2“专业”、“学生”和“指导教师”等排式 各单位要求不同。例如四川大学要求：“专业” 选用楷体4号字，排在论文（设计）题目的正下方，与论文（设计）题目之间空1行，居中排。“学生 □□□”与“指导教师 □□□”排为一行，选用楷体4号字，排在“专业”下方，与“专业”之间空1行，居中排。如有多位教师，可用“，”号间隔。 3摘要排式 摘要以摘录或缩编的方式复述本论文主要内容。要求：概括地、不加注释地摘录本论文的研究目的、方法、结果和结论；或简洁的介绍本论文阐述的主要内容及取得的进展。 编写摘要应注意：客观反映原文内容，不得简单地重复题名中已有的信息，要着重反映论文的新内容和特别强调的观点。摘要宜采用第三人称过去式的写法（如“对……进行了研究”，“综述了……”等；不应写成“本文”、“我校……”等）。摘要一般不分段，字数要求不完全一致（例如：四川大学要求以400字左右为宜，渭南师范学院要求200-300字左右）。“摘要”两字一般加黑（或选用其他字体）。 4主题词（关键词）排式 主题词是表达论文主要内容的词或词组，是论文的重要检索点。主题词一般由3～5个词或词组组成。主题词一般可以直接从论文题目或论文正文中抽取。 主题词在摘要后另起一行排。主题词的字级、字体和排式与“摘要”的相同。 主题词与摘要之间一般不空行；主题词与正文之间一般空1行。 2正文排式 一律横排，通栏，文字一般选用小4号宋体。 3标题排式 标题可分为章（一级）、节（二级）、小节（三级）等。最小一级标题的字级一般应与正文文字的字级相同。 1 标题的字级、字体 各单位要求一般不同，例如：四川大学要求一级标题用小3号字，字体选用标宋黑体；二级标题用4号字，字体选用4号宋体加粗（或黑体）；三级标题用小4号字，字体选用楷体；最末一级标题用小4号字，字体选用宋体加黑（或黑体）。渭南师范学院要求一级标题用四号，字体选用黑体；二级标题用小四号字，字体选用黑体；三级标题用小四号字，字体选用宋体。佳木斯大学要求：第一层次（章）题序和标题用小二号黑体字；第二层次（节）题序和标题用小三号黑体字；第三层次（条）题序和标题用四号黑体字；第四层次（款）题序和标题用小四号黑体字；第五层次（项）以下题序和标题与第四层次同。 2 标题占行 各单位要求一般不同，例如：四川大学要求一级标题文字上下各空一行；居中排；二级标题的上面空一行，居中排；三级标题及其以下标题上下不空行，居左排。 在两级标题连排的情况下，可省1～2行。 3 标题长度与转行 标题文字较多时，可按密排标题方式处理，即字与字之间不加间空。标题文字少时，可按疏排标题方式处理，即在字与字之间加间空。间空一般是两字间空两字，三字间空一字，四字间空半字，五字及五字以下不间空。 标题文字长度占两行或两行以上的，可按多行标题方式处理，即应转行。标题转行：在标题文字的行长超过主体文字4/5行长的情况下，必须转行，转行标题文字居中排。 标题转行不能割裂词义，如人名、地名、国名等，专有名词不能断开，虚词、术语、符号等不能转为下一行的第一字。 在有副标题的情况下，应注意主题与副标题的关系与比例。 4引文排式 短句引文排式：与主体文字相同。 大段引文排式：整段引文，另段起排，每行行头、行尾均缩进两格。引文上、下应各空一行。引文应变体。引文行头、行尾不加引号。诗歌等第一行的行头可后退四格或更多。 5表格排式 表格用字的字级一般用5号字宋体；表头（即表格名称）用5号黑体（或其他规定字体）。每一表格应统一编号，该编号应在正文中相应处标明。 表格宽度不能超过版心。 续表（即一页未排完，下一页接着排的表）应在接排面的表上方加“续表”或“表×（续）”等字样，如续表不止一页，则需加上“续表一”等字样。 如表格较大，也可用B4纸制成横表，按A4规格折叠后，装订入册。 6图片排式 手绘图、摄影照片、计算机制作图、印刷品等彩色、黑白图照均应清晰、清楚、准确，层次丰富。 图片裁切或遮幅后不能造成不良效果。 图片的长度和宽度不能超过版心尺寸。 7目录排式 目录中的标题一般不能超过三级。例如，四川大学要求一级标题用小3～4号字；二级标题用4～小4号字；三级标题用小4号字。 标题字体按由重到轻的原则选择。如四川大学要求一级标题用4黑，二级用4号字，三级用小4号字。标题文字居左，页码居右，之间用连续三连点连接。标题需转行的，转行后的标题文字应缩进1字处理。 8 书眉排式 有些单位要求设置页眉，有些单位则不要求。例如四川大学要求“四川大学本科毕业论文” 或“四川大学本科毕业设计”用5号字居左排，论文题目或设计题目用5号字居右排；书眉与正文之间用下划线分隔。 9 页码排式 一般用5号字排在页脚居中。 10 序言和后记排式 字级与正文相同。字体可选用仿宋体或楷体等（不同院校可能要求不同）。 版心宽度可略小于正文版心宽度。 11附录排式 附录应标明序号，各附录依次编排。如“附录1”排在版心左上角。“附录”用四号黑体字。附录文字的字级一般用5号字。　　本科毕业论文（设计）参考文献的著录要求　　各单位要求不一致，例如四川大学的文科类各学院对论文（设计）的引、注、参考文献的著录要求，由各学院根据学科特点自行制订统一、规范的具体要求，并报教务处备案。理工医各专业毕业论文（设计）参考文献著录要求：引用资料、文献，均应说明来源。著录引文的参考文献采用顺序编码制。顺序编码制：按文章正文部分（包括图、表及其说明）引用文献的先后顺序连续编码。编码置于方括号中，用上标的形式（置于右上角），直接放在引文之后（如〔1〕；〔15,18〕；〔25－26〕）。 一般大学都要求按照中华人民共和国国家标准进行编排。 1 专著著录要求、格式 不同院校要求不一致，例如： 1四川大学要求： （1）专著著录格式 主要责任者者书名其他责任者版本出版地：出版者,出版年：页次 例1：刘少奇论共产党员的修养修订2版北京：人民出版社，1962：76 例2：中国科学院南京土壤研究所西沙群岛考察组我国西沙群岛的土壤和乌粪矿北京：科学出版社，1977 （2）专著中析出的文献著录格式 析出责任者析出题名 析出其他责任者见：原文献责任者原文献题目版本出版地：出版者，出版年在原文献中的位置 例1：黄蕴慧国际矿物学研究的动向见：程裕淇等编世界地质科技发展动向北京：地质出版社，1982：38－39 （3）连续出版物（期刊）著录要求、格式 析出责任（著）者 析出题（篇）名 析出其他责任者原文献题名（刊名），版本在原文献中的位置 例1：李四光地壳构造与地壳运动中国科学，1973（4）：400-429 例2：赵均宇略论辛亥革命前后的章太炎光明日报，1977-03-24（4） （4）会议录、论文集、论文汇编著录要求、格式 著者题（篇）名In（见）：整篇文献的编者姓名( 多编者用),文集名，会议名，会址，开会年，出版地：出版者，出版年：页次 （5）学术报告著录要求、格式 著者题（篇）名报告题名，编号，出版地：出版者，出版年：页次 （6）学位论文著录要求、格式 著者题（篇）名学位授予单位，编号或缩微制品序号，年 （7）专利文献著录要求、格式 专利申请者专利题名专利国别，专利文献种类，专利号出版日期 （8）其他 私人通讯和未发表著作一般不能作为参考文献引用，如必须要引用时，应标明通讯人或著者的姓名、题（篇）名、地址和年、月、日。 2鲁东大学要求： 连续出版物：作者． 文题〔J〕．刊名， 年， 卷（期）： 起始页码－终止页码． 专 著： 作者． 书名〔M〕 出版地： 出版者， 出版年． 译 著： 作者． 书名〔M〕 译者． 出版地： 出版者， 出版年． 论文集： 作者 文题〔A〕 编者 文集〔C〕 出版地：出版者，出版年起始页码－终止页码． 学位论文： 作者 文题〔D〕 所在城市：保存单位， 年份． 专 利： 申请者 专利名〔P〕 国名及专利号, 发布日期． 技术标准: 技术标准代号 技术标准名称〔S〕． 技术报告： 作者． 文题〔R〕．报告代码及编号,地名: 责任单位,年份． 报纸文章： 作者． 文题〔N〕． 报纸名， 出版日期(版次) ． 电子公告／在线文献：作者． 文题〔EB/OL〕． …， 日期． 数据库／光盘文献：作者． 文题〔DB/CD〕． 出版地:出版者， 出版日期． 其他文献： 作者． 文题〔Z〕．出版地:出版者，出版日期． 3安徽工业大学要求： 列出的只限于那些作者亲自阅读过的，最重要的且发表在公开出版物上的文献或网上下载的资料。论文中被引用的参考文献序号置于所引用部分的右上角如******。参考文献表上的著作按论文中引用顺序排列，著作按如下格式著录：序号 著者 书名 出版地: 出版社，出版年顺序列出(据GB 7714-87《文后参考文献著录规则》)；论文按如下格式著录：序号 作者论文题目期刊 发表年份第几期页码。 如：〔1〕 江北 场论 北京: 科学技术出版社, 2000年2月 〔2〕王庆详，刘伟改善烧结、提高烧结矿质量的措施[J]安徽工业大学学报，2003,20(4):202-204本科毕业论文（设计）装订说明　　完成的本科生毕业论文（设计）一般应当按照如下顺序装订成册（以四川大学为例）： 1、封面（由教务处统一提供） 2、毕业论文（设计）成绩评定表 3、毕业论文（设计）任务书 4、毕业论文（设计）开题报告 5、毕业论文（设计）写作记录卡 6、毕业论文（设计）指导教师评审记录卡 7、彩色分隔页 8、毕业论文（设计） 毕业论文（设计）包含内容依次为：题目页、诚信保证、中文摘要、英文摘要、目录、正文内容、参考文献、附录（可选）、外文文献与翻译、致谢。（有些院校可能不必都填写） 9、封底（由教务处统一提供）

在网上搜索各大网站都有模板的。中国医科大学官网，各大文库网都有非常好的模板。学位论文格式规范是基于医学学位论文常规格是设定的。

本科毕业设计（论文）　　文献综述　　院 （系）：　　专 业：　　班 级：　　学生姓名： 学 号:　　年 月 日　　本科生毕业设计（论文）文献综述评价表　　毕业设计（论文）题目　　综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）　　评阅教师姓名 职称　　评 价 项 目 优 良 合格 不合格　　综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范　　综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果　　03 文字通顺、精练、可读性和实用性强　　04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等　　参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范　　06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献　　成绩　　综合评语：　　评阅教师（签字）：　　年 月 日　　文献综述： 小四号宋　　空一行　　标题 二号黑居中　　空一行　　1 XXX 三号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　1 XXXX 小三号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　1 XXX 四号黑　　XXX 小四号宋，行距20磅　　空一行　　2 XXXX 三号黑　　(空1行)　　参 考 文 献　　(空1行)　　[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：]　　[1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）　　[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．　　下面的是我的文献综述　　文献综述:　　FTO透明导电薄膜的溅射法制备　　1 前言　　为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。　　本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。　　2透明导电玻璃的种类及制备方法简介　　1透明导电玻璃的种类　　1 1 TCO导电玻璃　　TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。　　2 ITO透明导电玻璃　　ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。　　3FTO透明导电玻璃　　FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。　　2FTO透明导电玻璃制备方法　　FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。　　1磁控溅射法镀膜：　　溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。　　目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。　　2真空蒸发镀膜：　　真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。　　3溶胶-凝胶法：　　溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。　　4化学气相沉积法：　　化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。　　化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。　　5喷雾热分解法：　　喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。　　3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势　　1FTO透明导电玻璃的研究现状　　自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。　　Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。　　射频溅射：　　射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。　　直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］　　用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。　　2FTO透明导电玻璃的应用　　FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。　　1在薄膜太阳电池上的应用　　太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。　　2在显示器上的应用　　显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。　　3在气敏元件上的应用　　气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］　　4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用　　喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。　　3 FTO透明导电玻璃的发展趋势　　随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：　　(1)导电性能好，电阻率较低；　　(2)可见光内透光率较高：　　(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；　　(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；　　(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；　　(6)表面形状良好，没有针孔；　　(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。　　目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。　　几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。　　4 制备条件对膜结构及光电性能的影响　　长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。　　1制备条件对膜厚的影响　　文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。　　2制备条件对膜结构的影响　　晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。　　3制备条件对膜光电性质的影响　　在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。　　4 退火对薄膜的影响　　退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］　　5 退火后处理对膜结构与成分的影响　　光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］　　6 FTO导电玻璃制备相关参数　　根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。　　7 参考文献　　1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学　　2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学　　3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学　　4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光　　5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷　　6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报　　7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．　　8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364．　　9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455．　　10、Huo Z，Dai S，Wang K，et a1．Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-／I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J]．Solar Energy Materials and Solar Cells，2007，91(20)：1959-1965．　　11、王璟和，射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学　　12、姜磊等， 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报（自然科学版）　　13、曾志峰等， 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报（理学版）　　14、段理、樊小勇等， 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇)　　15、SunLL，TanO K，ZhuW G，et a1．Pb(Zro 3Ti0． 7)03／Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J]．J Appl Phys，2006，99(9)：09410　　16、顾锦华、钟志有等， 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版)　　17、王磊、杜军等， 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报　　18、范志新等， 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件　　19、刘庆业等， 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报（自然科学版）

如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~

中国科学院中国植物志编辑委员会 中国植物志[M] 北京: 科学出版社, 1993: [序号]作者书名[M]出版地：出版社，出版年份：起止页码