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1991年创刊，全年4期，ISSN 0960-1317，刊载微型机电、微型机械和真空微电子技术方面的研究论文，涉及微型系统的控制、程序和建造、微型结构和器件、集成电路、电子与光子器件等基本结构、器械和系统设计研究。33 VDI-Z 《
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chensilong812
