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MEMS压力传感器原理及其应用分析

感器具有很多新的特性,在物联网快速发展的情形下,具有很好的发展前景.文章首先介绍了MEMS压力传感器的概念与原理,然后着重对MEMS压力传感器的发展现状

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参考文献 [1] 吕浩杰; 胡国清; 邹卫; 吴灿云; 陈羽锋; 高性能 MEMS 电容压力传感器的设计及其热 分析光学精密工程; 2010-05 [2] 孙素梅; 陈洪耀; 尹国盛 光纤传感器的基本原

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2是压力传感器在全自动洗衣机中的应用实例。. 如图所示，利用气室，将在不同水位情况下水压的变化，作为空气压力的变化检测出来，从而可以在设定的水位上自动